热式质量流量计是一种利用传热原理，即流动流体与热源(流体中被加热的物体或加在测量管上的发热体)之间的热交换关系来测量流量的仪器。目前主要用于测量气体。

20世纪90年代初，热式质量流量计的全球销量约占流量计的8%，约为45000台。90年代中期国内销量估计在每年1000台左右。过去，过程工业中使用的仪器主要是热分布的，但散热(或冷却)效应是近年来发展起来的。

热式质量流量计有两种类型，热分布流量计，它利用流动流体传递的热量来改变测量管壁温度分布的热传导分布效应，称出了热TMF，利用散热(冷却)效应。另外，由于结构检测元件伸入测量管内，所以也称为浸入式或侵入式。一些在使用过程中从管道外部插入工艺管道的仪器称为插入式。

热式质量流量计可以测量低流速(气体0.02~2m/s)下的微流量;浸没式TMF可以测量低-中-高流速(气体2-60m/s)，而插入式TMF更适合大管径。

热式质量流量计没有运动部件，没有分流管的热分布仪表没有自由流动部件，压力损失很小;热分布仪表和带分流管的浸入式仪表虽然测量管中有节流片，但压力损失很小。

热式质量流量计的表现相对可靠。与导出的质量流量计相比，它不需要温度传感器、压力传感器和计算单元，只需要流量传感器，组成简单，故障概率低。

热式质量流量计用于双原子气体，如H2、N2、O2、CO、NO等接近理想气体。不需要使用这些气体进行特殊校准，而是直接使用空气校准仪器。